9月30日，國家納米重大科學(xué)研究計劃項目“相變存儲器規(guī)模制造技術(shù)關(guān)鍵基礎(chǔ)問題研究”課題結(jié)題驗收會在項目承擔(dān)單位中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所召開。
中國科學(xué)院物理研究所解思深院士、中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所所長王曦院士、北京大學(xué)薛增泉教授、中國科學(xué)院上海高等研究院院長封松林研究員、南京大學(xué)陳坤基教授、上海市科委基礎(chǔ)處處長傅國慶、中國科學(xué)院前沿科學(xué)與教育局技術(shù)科學(xué)處副處長趙慧斌、中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所戴寧研究員、中國科學(xué)院上海硅酸鹽研究所陳立東研究員、上海科學(xué)院閔國全研究員、華東師范大學(xué)孫卓教授、上海矽�？萍加邢薰究偨�(jīng)理謝志峰、中芯國際集成電路制造（上海）有限公司副總裁吳漢明等14位評審專家，科技部基礎(chǔ)司重大科學(xué)研究計劃處楊旭東博士、上海市科學(xué)技術(shù)獎勵中心主任劉海峰、上海市科委基礎(chǔ)處蒯本君、中科院上海微系統(tǒng)所科技部長程建功、項目主管陳華夏以及項目組宋志棠研究員、劉波研究員、詹奕鵬技術(shù)總監(jiān)、陳后鵬研究員、宋三年副研究員、陳一峰博士、陳邦明研究員等共計50余人出席了此次會議。此次驗收會議由解思深院士主持。
上海微系統(tǒng)所信息功能材料國家重點實驗室主任宋志棠研究員首先歡迎各位專家領(lǐng)導(dǎo)參加此次課題驗收會議。楊旭東博士介紹了課題驗收的有關(guān)要求和規(guī)定。趙慧斌講話，他提出一定要考慮后續(xù)的發(fā)展方向，有進(jìn)一步的研究計劃，同時要嚴(yán)格遵守國家和科學(xué)院關(guān)于經(jīng)費的各項規(guī)定，規(guī)范使用經(jīng)費。傅國慶認(rèn)為這樣的一個基礎(chǔ)性課題對大規(guī)模制造提供了很好的理論基礎(chǔ)，希望各位專家多提寶貴意見，對項目的匯報和未來的發(fā)展提供好的建議，上海市科委會一如既往的給予支持。王曦院士代表上海微系統(tǒng)所感謝各位專家參加課題驗收會，他表示存儲器是半導(dǎo)體行業(yè)中的薄弱環(huán)節(jié)，而我國在存儲器領(lǐng)域的力量也是薄弱的，因此要能夠?qū)⒒A(chǔ)研究成果向國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)界進(jìn)行轉(zhuǎn)移，課題組通過不懈的努力，在中芯國際的支持下，實現(xiàn)了PCRAM從8寸130nm到12寸40nm節(jié)點的發(fā)展，是非常了不起的，希望在未來新的存儲器領(lǐng)域進(jìn)一步得到專家和領(lǐng)導(dǎo)的支持。
宋志棠研究員對PCRAM的國際發(fā)展趨勢及各大公司產(chǎn)品開發(fā)的路線作了匯報，明確了PCRAM團(tuán)隊未來的發(fā)展重點和方向。劉波研究員對課題目標(biāo)、研究內(nèi)容、完成情況做了總體情況匯報。隨后與會專家聽取了各個方向針對具體情況的詳細(xì)報告：陳后鵬研究員匯報了PCRAM電路與芯片設(shè)計的完成情況；詹奕鵬技術(shù)總監(jiān)匯報了PCRAM芯片單項工藝及其集成技術(shù)開發(fā)；宋三年副研究員匯報了課題組在自主新材料研發(fā)以及自主材料在工程化中的應(yīng)用；陳一峰博士匯報了PCRAM芯片測試完成情況。專家組對課題的完成情況和科研成果一一點評，并提出了具有針對性的寶貴建議和指導(dǎo)，要求課題組按照最新的“973”項目驗收要求整理項目總結(jié)報告、凝練出亮點、突出項目的主線。解思深院士講到，把企業(yè)和研究所結(jié)合起來本身就是一種很有特色的產(chǎn)學(xué)研用項目組織模式，一定把項目的特點、進(jìn)展、重大科學(xué)貢獻(xiàn)和核心技術(shù)進(jìn)步等充分展示出來。薛增泉教授提出要加強(qiáng)與國際大公司相關(guān)研究指標(biāo)的實質(zhì)性對比，突出基礎(chǔ)研究的科學(xué)問題和關(guān)鍵技術(shù)問題。
最后，專家組認(rèn)真審查了相關(guān)技術(shù)文件和資料，認(rèn)為各項技術(shù)指標(biāo)均全面滿足合同書要求，出色完成了預(yù)定的研究目標(biāo)，一致同意項目課題通過驗收。
驗收會現(xiàn)場
