我國自然科學(xué)領(lǐng)域重要學(xué)術(shù)期刊《科學(xué)通報》在時隔9個月之后，再一次在最新一期以封面專題的形式(Vol. 59 (7): 623-629, 2014)報道了中國科學(xué)院沈陽自動化研究所微納米課題組在超高懸空微動電極上裝配納米線的科研成果。
納米線拉伸特殊微動機構(gòu)芯片是一類通過MEMS工藝設(shè)計和制造的微電極拉伸測試機構(gòu)，可以通過熱驅(qū)動機構(gòu)或電驅(qū)動機構(gòu)加載作用力于拉伸電極上，該電極具有超高、懸空和微動的特點。將納米線裝配于該電極上，可以進行單納米線拉伸動態(tài)特性及原子鏈拉伸制造的研究，研究其在拉伸狀態(tài)下的動態(tài)特性變化及單原子鏈狀態(tài)下的特殊性質(zhì)以向原子器件制造方向發(fā)展，是目前納米科學(xué)的前沿研究課題之一，但目前沒有一套有效的方案來實現(xiàn)將單根納米線置于可拉伸的微動機構(gòu)上以進行拉伸。
介電泳（DEP）方法是一種簡單快速有效并且可以規(guī)�；淖韵露涎b配納米器件的技術(shù)。沈陽自動化所微納米課題組在傳統(tǒng)的介電泳技術(shù)的基礎(chǔ)上，開發(fā)了一種微滴DEP裝配技術(shù)與實驗系統(tǒng)，并借助理論分析與仿真，成功實現(xiàn)了納米線在拉伸特殊微動機構(gòu)芯片上的裝配，為最終實現(xiàn)納米線的拉伸及原子鏈拉伸制造研究邁出最關(guān)鍵的一步，并且大大拓展了介電泳技術(shù)的應(yīng)用范圍。
《科學(xué)通報》封面圖片展現(xiàn)的是采用微滴DEP裝配技術(shù)在納米線拉伸特殊微動機構(gòu)芯片上進行Cu納米線裝配的過程。通過可控的微滴釋放技術(shù)、精確的定位技術(shù)、電極表面處理等一系列技術(shù)，實現(xiàn)了單根Cu納米線在超高懸空微動電極上的裝配。
