3月12日至14日，中國科學(xué)院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院安徽光學(xué)精密機械研究所承擔(dān)的課題“雙腔同步全固化激光電源及輸出能量穩(wěn)定系統(tǒng)研究”通過了國家科技重大專項實施管理辦公室的驗收。該課題成功為MOPA結(jié)構(gòu)的準(zhǔn)分子激光器提供低抖動全固化的高脈沖快放電電源，并實現(xiàn)了通過反饋控制系統(tǒng)實現(xiàn)激光輸出能量穩(wěn)定。該課題的成功驗收為光刻機的零部件國產(chǎn)化打下基礎(chǔ)，具有重大的直接經(jīng)濟(jì)效益和社會效益。

　　“雙腔同步全固化激光電源及輸出能量穩(wěn)定系統(tǒng)研究”是國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”（02重大專項）的子課題之一。該課題研究突破的全固態(tài)脈沖激勵技術(shù)、MOPA結(jié)構(gòu)電源同步控制技術(shù)和能量穩(wěn)定控制技術(shù)等，是曝光光源的核心關(guān)鍵技術(shù)，這些技術(shù)的掌握有利于我國光刻機研制取得突破，以及獲得相關(guān)半導(dǎo)體制造設(shè)備的自主知識產(chǎn)權(quán)。課題組多次參與項目總體單位光電研究院組織的整機聯(lián)機試驗，與并行課題相互支撐驗證、銜接良好，研制的電源系統(tǒng)與激光放電腔、線寬壓窄模塊、光學(xué)器件等光源系統(tǒng)部件聯(lián)合集成完成20W 4kHz ArF曝光光源系統(tǒng)，整機測試總體達(dá)到了技術(shù)指標(biāo)，電源系統(tǒng)測試也達(dá)到了任務(wù)書要求指標(biāo)。

　　值得注意的是，光刻機是生產(chǎn)大規(guī)模集成電路的核心設(shè)備，制造和維護(hù)需要高度的光學(xué)和電子工業(yè)基礎(chǔ)，世界上只有少數(shù)廠家掌握。因此光刻機價格昂貴，通常在3000至5000萬美元（據(jù)維基百科）。曝光光源作為光刻機的核心部件，在半導(dǎo)體裝備研制中起著重要作用，因此，該課題的驗收具有直接的經(jīng)濟(jì)效益和社會效益。

　　同時，作為滾動支持，02重大專項2013年1月正式啟動二期項目“40W 4kHz ArF曝光光源產(chǎn)品開發(fā)”，合肥研究院安光所繼續(xù)承擔(dān)了二期課題“高重頻脈沖泵浦電源的研發(fā)”。