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長春光機所大口徑平面鏡光學加工技術取得突破

 3月25日,中國科學院長春光學精密機械與物理研究所投資公司奧普光電加工完成BZPMJ700標準平面鏡,面型精度PV為0.187λ、rms為0.018λ、power為0.003λ,這標志著長春光機所在大口徑平面鏡光學加工技術上取得重大突破。 

  該BZPMJ700標準平面鏡由平面反射鏡和精密二維支撐架兩部分組成。經過技術攻堅,已經加工出高精度面形平面反射鏡。直徑700mm的平面反射鏡有效口徑范圍面形精度達到PV=0.187λ、rms=0.018λ、power=0.003λ(λ=632.8nm),為該所自制同尺寸平面鏡最高精度。此項技術的突破標志著奧普光電具備了直徑800mm以內大口徑高精度平面鏡加工能力,單鏡加工周期為半年左右,加工工藝具備定型條件,并能夠延伸開發(fā)制作不同尺寸和種類的標準平面鏡系列產品。該項技術突破為奧普光電創(chuàng)造了新的技術發(fā)展點和經濟增長點。 

  據悉,奧普光電也已具備了大尺寸元件的加工能力,成功加工完成了直徑580mm、直徑700mm的離軸拋物鏡,直徑1230mm的球面鏡的加工。 

 

Φ700mm平面標準鏡在所檢測中心用32英寸ZYGO平面干涉儀檢測 

 

Φ700mm平面標準鏡面形干涉圖及檢測數據